นโยบายการจัดการความรู้ มหาวิทยาลัยสงขลานครินทร์ 1.ให้ใช้เครื่องมือการจัดการความรู้ผลักดัน คุณภาพคน และกระบวนทำงาน 2.ส่งเสริมการแลกเปลี่ยนประสบการณ์การทำงาน จากหน้างาน 3.ส่งเสริมให้มีเวทีเรียนรู้ร่วมกัน
อ่าน: 1681
ความเห็น: 3

ปัญหาระบบสุญญากาศของ SEM5200

Scanning Electron Microscope JEOL JSM-5200

หลายวันก่อน นักวิทยาศาสตร์ได้แจ้งมาว่า SEM5200 เกิด VAC ไม่สำเร็จ ค้างอยู่ที่ 100% โดยที่ไม่ขึ้นคำว่า "HT Ready" ซะที

หมายเหตุ โดยปกติเครื่องจะต้องแสดงข้อความ "HT Ready" ก่อน จึงจะสามารถใช้งานได้

ผมก็ได้ตรวจสอบดูหลายๆอย่าง จนสุดท้ายพบว่า น้ำหล่อเย็นของ Diffusion Pump อุณหภูมิสูงไปนิดหน่อย (ประมาณ 23 องศาเซลเซียส) พอปรับลดต่ำลงมา (ประมาณ 21 องศาเซลเซียส) ความปกติสุขจึงกลับมา (^_^) Happy กันถ้วนหน้า

หมายเหตุ2 เป็นการปรับที่ปุ่มปรับ แต่หากวัดอุณหภูมิน้ำในถังจะเย็นกว่านี้ คือประมาณ 5 องศาเซลเซียส ซึ่งหากเราปรับให้ต่ำกว่า 20 องศาเซลเซียส น้ำในถังอาจกลายเป็นน้ำแข็งได้ ซึ่งเคยเกิดขึ้นมาแล้ว)

วิศวกรบริษัทเคยบอกผมว่ามีวิธีการตรวจสอบหาจุดผิดปกติ เพื่อสามารถแก้ไขปัญหานี้ได้อย่างตรงจุดดังนี้

ปล. กรณีที่ได้กล่าวข้างต้น เผอิญเขาไม่ได้บอกผมมาครับ (^_^) สงสัยเขาลืม... ผมจึงเพิ่มมาอีกหนึ่งข้อครับ

1. หากเครื่องแสดงข้อความ "PREVAC" นานเกินเกิน 4 นาที (สถานะ VAC 60%) แสดงว่า

  • เกิดจุดรั่วในระบบ ให้ตรวจสอบ o-ring ทุกจุด โดยทำความสะอาด o-ring และร่องที่ใส่ o-ring และทากรีสให้ o-ring ใหม่ (พอประมาณไ่ม่มากจนเยิ้มและไม่น้อยจนแห้งเหมือนไม่ได้ทา)
  • Rotary Pump มีปัญหา ให้ตรวจสอบดูว่า Pump ทำงานผิดปกติหรือไม่, ระดับและสีของน้ำมัน Rotary Pump ปกติหรือไม่ หากผิดปกติ ให้เติมหรือเปลี่ยนน้ำมัน Rotary Pump

2. หากสามารถ "PREVAC" ได้ แต่ "EVAC" ไม่ 100% แสดงว่า

  • Diffusion Pump มีปัญหา ให้ตรวจสอบดูว่า ระดับและสีของน้ำมัน Diffusion Pump ปกติหรือไม่ หากผิดปกติให้เติมหรือเปลี่ยนน้ำมัน Diffusion Pump หาก Diffusion Pump สกปรกด้วย ให้ทำความสะอาด Diffusion Pump ก่อน
  • ปรับตั้งค่า EVAC ไ่ม่ถูกต้อง ให้ลองปรับตั้งค่า EVAC ใหม่ทีละนิด (ควรปรับโดยผู้มีประสบการณ์เท่านั้น เนื่องจากการปรับค่าจะมีผลต่ออายุการใช้งานของ filament)

3. หากเครื่องแสดงข้อความ "DP Wait" นานเกิน 30 นาที (หรือมากกว่านั้น) แสดงว่า มีปัญหาที่ Diffusion Pump ให้ตรวจสอบ Diffusion Pump ว่าร้อนหรือไม่ หากไม่ร้อนแสดงว่า Heater ขาด ให้เปลี่ยน Heater ใหม่

08 ก.ค. 2555
แก้ไขเพิ่มเติม - หาก Diffusion Pump ร้อนแล้ว แต่ยังขึ้นข้อความ DP Wait แสดงว่า เซ็นเซอร์มีปัญหา อาจปรับตำแหน่งเซ็นเซอร์ให้ต่ำลง หรือเปลี่ยนเซ็นเซอร์ใหม่

4. หากเครื่องแสดงข้อความ "EVAC" ค้างที่ 100% นานเกิน 2 นาที แสดงว่า มีปัญหาที่ Diffusion Pump (Pump ทำงานได้ไม่เต็มที่) ให้ลองตรวจสอบน้ำหล่อเย็น (cooling) ว่าไหลหรือไม่? ไหลด้วยความดัน (Pressure) ที่เหมาะสมหรือไม่? อุณหภูมิของน้ำเหมาะสมหรือไม่? หากน้ำหล่อเย็นปกติ ให้ตรวจสอบดู Diffusion Pump เหมือนกับข้อ 2

เท่านี้เราก็สามารถซ่อมได้ถูกจุด ทำให้ประหยัดเวลาไปได้มากครับ

วิธีการตรวจสอบนี้อาจปรับใช้ได้กับ SEM รุ่นอื่น หรือยี่ห้ออื่น แต่เวลาหรือค่าสภาวะต่างๆอาจแตกต่างกันตามแต่เครื่องนั้นๆ

 

 

หมวดหมู่บันทึก: บริการวิชาการ
สัญญาอนุญาต: สงวนสิทธิ์ทุกประการ Copyright
สร้าง: 15 กรกฎาคม 2553 17:45 แก้ไข: 08 กรกฎาคม 2555 16:07 [ แจ้งไม่เหมาะสม ]
ดอกไม้
สมาชิกที่ให้กำลังใจ
 
Facebook
Twitter
Google

บันทึกอื่นๆ

ความเห็น

ดีมากครับ

แต่เครื่องนี้เหมือนลูกชายคนเล็ก เอาใจยาก
วันดีคืนดี ผิกปกติ แค่ช่างเดินลงไปหา ก็เป็นปกติขึ้นมาทันใด

Ico48
ผึ้งทอง [IP: 192.168.100.112]
16 กรกฎาคม 2553 08:57
#58828
ดีมากๆ

ดีจัง ทีหลังเครื่องมีปัญหาจะได้บอกลูกค้าถูกว่าเครื่องมานเจ๋งตรงไหน

ร่วมแสดงความเห็นในหน้านี้

ชื่อ:
อีเมล:
IP แอดเดรส: 3.238.107.166
ข้อความ:  
เรียกเครื่องมือจัดการข้อความ
   
ยกเลิก หรือ