นโยบายการจัดการความรู้ มหาวิทยาลัยสงขลานครินทร์ 1.ให้ใช้เครื่องมือการจัดการความรู้ผลักดัน คุณภาพคน และกระบวนทำงาน 2.ส่งเสริมการแลกเปลี่ยนประสบการณ์การทำงาน จากหน้างาน 3.ส่งเสริมให้มีเวทีเรียนรู้ร่วมกัน

Zenki
Ico64
นาย พรพจน์ หนูทอง
นักวิทยาศาสตร์
ศูนย์เครื่องมือวิทยาศาสตร์
เครือข่าย
สมาชิก · ติดตาม: 0 · ผู้ติดตาม: 2

อ่าน: 888
ความเห็น: 0

Over current ของเครื่อง Coater

จากบันทึกที่ผ่านมาได้เล่าถึงเครื่องมือสำหรับเคลือบผิวตัวอย่าง หรือ Coater ซึ่งเป็นเครื่องมือเตรียมตัวอย่างสำคัญอย่างหนึ่งที่จะขาดไม่ได้สำหรับการทดสอบตัวอย่างด้วยเครื่อง SEM หรือ กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนชนิดส่องกราด โดยในขั้นตอนการเตรียมตัวอย่างนั้น จะต้องนำตัวอย่างมาเคลือบผิวด้วยโลหะ เพื่อทำให้ตัวอย่างมีสมบัติการนำไฟฟ้า ลักษณะของตัวอย่างภายนอกจะเป็นสีทองตามสีของโลหะที่ใช้เคลือบผิว นั่นคือ ทองคำ

 

จากอัตราการใช้งานเครื่องมือ ซึ่งมีอัตราเพิ่มสูงขึ้น ตามอัตราการใช้งานของเครื่อง SEM ที่เพิ่มสูงขึ้นตามกัน โดยการใช้งานแบ่งได้เป็น 2 ประเภท คือ ให้บริการลูกค้า และการใช้เครื่องมือด้วยตนเอง ดังนั้นเครื่องจึงต้องทำงานหนักมากในแต่ละวัน ซึ่งจากอัตราการใช้งานที่เพิ่มมากขึ้นดังกล่าว จึงจำเป็นต้องมีเครื่องมือเพิ่มขึ้น เพื่อแบ่งเบาภาระงานของเครื่องเก่า ปัจจุบันจึงมีเครื่องมือพร้อมให้บริการถึง 2 เครื่องด้วยกัน

เครื่องมือที่ใช้งานบ่อยๆเป็นประจำ เรื่องการทรุดโทรม เสื่อมสภาพของอะไหล่และชิ้นส่วนต่างๆ จึงเกิดขึ้นเป็นเรื่องธรรมดา ซึ่งเครี่อง Coater มีแผนการบำรุงรักษาโดยช่างประจำเครื่อง และได้รับการดูแล บำรุงรักษาเบื้องต้น ทำความสะอาดโดยนักวิทยาศาสตร์ที่รับผิดชอบเป็นประจำ เครื่องมือจึงสามารถทำงานได้ดี แต่แม้จะมีการบำรุกรักษาและดูแลดีอย่างไร ปัญหาในการใช้งานก็ยังเกิดขึ้นได้ตลอดเวลา ซึ่งหนึ่งในหลายๆปัญหาสำคัญ คือ Over current

โดยปกติสภาวะเครื่อง Coater ที่พร้อมใช้งานนั้น จะมีระดับความดันต่ำอย่างน้อย 0.1 torr และหลังจากการ flow ก๊าซอาร์กอนเข้าสู่ chamber แล้วจึงเริ่มการเคลือบผิวตัวอย่าง ซึ่งในระหว่างการเคลือบผิวนั้น ค่า Plasma current ควรมีค่าอยู่ระหว่าง 10-20 mA จึงถือว่าเหมาะสม จากความถี่การใช้งานเป็นประจำ และความหลากหลายของตัวอย่าง เป็นสาเหตุหลักที่ทำให้เครื่อง Coater สกปรก ได้แก่ เศษตัวอย่าง ฝุ่นผง ไอน้ำมันหรือสารระเหยจากตัวอย่าง คราบเขม่าของอนุภาคโลหะ ที่เกาะติดรอบๆ chamber และฝาครอบแผ่นโลหะ

ความสกปรกดังกล่าว เป็นตัวการสำคัญที่ทำให้เกิดปัญหา Over current โดยลักษณะของ Over current ที่เกิดขึ้น ค่า Plasma current จะมีค่าสูงกว่า 20 mA และบางครั้งเพิ่มสูงขึ้นจนเกิน scale ของเครื่อง ซึ่งผลของ Over current มีผลทำให้ไม่สามารถเคลือบผิวต้องอย่างได้อย่างสมบูรณ์ ตัวอย่างที่ได้มีลักษณะดำ เมื่อนำไปทดสอบด้วย SEM จะได้ภาพถ่ายที่มีคุณภาพต่ำ เพราะตัวอย่างไม่มีสมบัตินำไฟฟ้าที่ดี บางกรณีผลของ Over current สร้างความร้อนให้กับตัวอย่าง จนทำให้โครงสร้างตัวอย่างเปลี่ยนแปลงไป หรือหลอม เสียหายจนแก้ไขไม่ได้

แนวทางการแก้ไขเบื้องต้น สามารถทำได้ด้วยตนเอง โดยทำความสะอาดด้วยการเช็ดคราบสกปรกที่เกาะติดตามชิ้นส่วนต่างๆของเครื่องออกไป ซึ่งวิธีนี้ทำความสะอาดได้เพียงส่วนหนึ่งเท่านั้น เครื่องสามารถกลับมาใช้งานได้ตามปกติ แต่ผ่านไปสักระยะก็จะเกิดปัญหาขึ้นอีก ดังนั้นหากไม่สามารถเช็ดทำความสะอาดคราบออกได้แล้ว คราบติดแน่น จึงควรถอดชิ้นส่วนมาทำความสะอาดด้วยการขัดน้ำยา แล้วล้างน้ำยาออกด้วยอะซีโตน ก่อนมาพึ่งให้แห้ง แล้วจึงประกอบชิ้นส่วนต่างๆเข้าตามเดิม แต่หากยังคงพบ Over current อยู่ ต้องนำเครื่องไปตรวจเช็ค ซ่อมแซมโดยช่างผู้ชำนาญต่อไป  

Sections: PSU.Quality Work Life
License: ซีซี: แสดงที่มา-ไม่ใช้เพื่อการค้า-อนุญาตแบบเดียวกัน Cc-by-nc-sa
created: 17 December 2013 09:34 Modified: 17 December 2013 09:34 [ Report Abuse ]
ดอกไม้
People who like this: Ico24 Our Shangri-La, Ico24 pompom, and 7 others.
People Who Like This
 
Facebook
Twitter
Google

Other Posts By This Blogger

ความเห็น

ไม่มีความเห็น

ร่วมแสดงความเห็นในหน้านี้

ชื่อ:
อีเมล:
IP แอดเดรส: 34.204.43.11
ข้อความ:  
เรียกเครื่องมือจัดการข้อความ
   
ยกเลิก หรือ