ความเห็น: 3
SEM5800 ปรับโฟกัสไม่ชัด
เมื่อวานระหว่างการทดสอบตัวอย่างด้วยเครื่อง SEM5800 นั้น ลูกหว้าได้เล่าให้ฟังว่า เครื่อง SEM ปรับโฟกัสและ Stigmators ไม่ได้ ซึ่งจะทำให้ภาพถ่ายตัวอย่างที่ได้ไม่ชัดเจนเช่นเดิม โดยถ่ายที่กำลังขยาย 5,000 เท่า ไม่ชัด ลูกหว้าและผมเดาว่า คอลัมน์ อาจจะสกปรก และปรึกษา ServiceMan ถึงอาการดังกล่าวด้วย และได้แนะนำให้ ทำความสะอาด orifice ดูก่อน ซึ่งอาจจะมีฝุ่นหรือเศษผงไปติดค้างอยู่เป็นได้ หลังจากที่ลูกหว้า ถอด orifice ออกมาเป่าเศษฝุ่น และนำใส่กลับไปในเครื่อง แล้วลองโฟกัสภาพใหม่อีกครั้ง แต่ผลยังคงเหมือนเดิม ผมจึงลองเปลี่ยน Aperture ดู เปลี่ยนจากเบอร์ 1 เป็นเบอร์ 2 แล้วลองโฟกัสและปรับ Stigmators ผลปรากฏว่า ภาพชัดเจนเหมือนเดิม ส่วนการทำความสะอาดคอลัมน์ อาจทำภายหลัง หากทำความสะอาด orifice แล้วไม่ดีขึ้น ซึ่งต้องใช้เวลาและแรงงานพอสมควร ดังนั้นจึงสรุปสาเหตุจากอาการดังกล่าวได้ว่า aperture เบอร์ 1 สกปรก เพราะ aperture มีลักษณะเป็นรู ทำหน้าที่ลดขนาดลำแสงอิเล็กตรอนที่ส่องผ่านลงมา ก่อนที่จะสแกนลงบนตัวอย่าง ซึ่งหากสกปรก ประสิทธิภาพก็จะลดลงตามไปด้วย และเมื่อต้องการถ่ายภาพที่กำลังขยายสูงด้วย aperture เบอร์ 1 ควรเปลี่ยน aperture หรือ นำไปทำความสะอาดก่อนนะครับ
ดอกไม้
DaDa, 
Kathi Noodee, และ 5 คนอื่น.
กำลังเรียกข้อมูล กรุณารอสักครู่ ...
บันทึกอื่นๆ
- เก่ากว่า « ใช่เธอ (ทอง) รึเปล่า
- ใหม่กว่า » องค์กร หล่อสวย ด้วย OP
ความเห็น
|
อาการปรับโฟกัสไม่ชัดของ SEM ,มีหลายกรณีค่ะ
1.Column สกปรก ,ทำความสะอาดcolumn ใหม่พร้อมเปลี่ยน CL/OL/orifice Aperture ใหม่หรือนำไป Cleanด้วยเครื่อง evaporator แล้วนำกลับมาใช้ใหม่ได้ (Column cleaning จะทำได้ง่ายกว่า JSM 5200 เพราะชุด Scanning coil ไม่ต้องรื้อออกมา)
2.Alignment ไม่ได้ (Gun หรือ OL AIignment ) โดยให้ทำ alignment ทั้งสองส่วนดูถ้าเหมือนเดิม Step ต่อไปให้ลองเปลี่ยน
เบอร์ Aperture 1,2,3 ดูว่ามีซักเบอร์ ชัดไหม่ ถ้ามีชัดเบอร์ใดเบอร์หนึ่งแสดงว่าเป็นที่ Aperture ,เบอร์ 3ใช้กรณี มีWDX,EDS,และถ่ายรูปที่กำลังขยายไม่สูง,เบอร์ 2ใช้กรณี มี EDS,และถ่ายรูปที่กำลังขยายไม่เกิน 35000 เท่า ,เบอร์ 1ใช้กรณี ถ่ายรูป High resolution ,Aperture สามารถทำความสะอาดด้วยเครื่อง evaporator แล้วนำกลับมาใช้ใหม่ได้
3.orifice สกปรก วิธีการเช็คให้ถอด orifice ออกทั้งชุดก่อนทำความสะอาด (ใช้ตัวดึงBEI ลงมาเพื่อถอด) ให้ลองเช็คภาพใหม่ในโหมด HV ว่าชัดกว่าเดิมไหม
ถ้าไม่ชัดเหมือนเดิม แสดงว่าorifice ไม่มีปัญหา (orifice ใช้โหมด LV เท่านั้น)
4.Stage ลงกราวด์ไม่ดี/ หรือตัวอย่างไม่นำไฟฟ้า กรณีนี้จะมี noise มาก คล้ายว่าเราใช้ Spot zise ต่ำกว่า 5 >>>>>
Do SEM
www.dosem24hr.com
07 Febuary 2012 11:04
#74848
เรื่องของ อะ เพอร์ เจ้อ ที่จะ เพ้อเจ้อ ไม่ได้เรยนะเนี่ย แหมๆ