นโยบายการจัดการความรู้ มหาวิทยาลัยสงขลานครินทร์ 1.ให้ใช้เครื่องมือการจัดการความรู้ผลักดัน คุณภาพคน และกระบวนทำงาน 2.ส่งเสริมการแลกเปลี่ยนประสบการณ์การทำงาน จากหน้างาน 3.ส่งเสริมให้มีเวทีเรียนรู้ร่วมกัน
อ่าน: 2234
ความเห็น: 3

SEM5200 กับปัญหา Over Current ที่ยาวนาน ต่อเนื่อง ตอนที่1

ปัญหานี้ซึ่งยาวนาน เหลือเกิน ไม่รู้ว่าเรายังแก้ไขไม่ถูกจุด หรือว่าอย่างไร

                ตัวผมเองก็เคยได้สัมผัสกับเจ้าเครื่องนี้มาแล้วบ้างครับ มันก็คือ กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนชนิดส่องกราด (Scanning Electron Microscope, SEM) รุ่น JSM-5200 เรียกติดปากกันว่า SEM5200 ซึ่งก่อนหน้านี้ได้เข้าไปช่วยท่าน iHum ทำความสะอาด Column และทำความสะอาด diffusion pump อยู่บ้าง ถ้ามีเวลาว่างจากงานอื่น ซึ่งก็ได้ทราบถึงปัญหาของเจ้าเครื่องนี้อยู่บ้างว่าหลัง ๆ มา การถ่ายภาพก็ไม่ค่อยชัดเจน ซ้ำร้ายยังเกิดปัญหา Over Current อีก เมื่อไม่นานมาก็มีวิศวกรจากบริษัทมาซ่อมให้ ก็ใช้ได้ไปสักพักหนึ่ง ก็เกิดปัญหาอีก แต่ได้ยินเสียงจากนักวิทย์บอกว่า ภาพยังไม่ชัดเหมือนเดิม

                หลังจากวิศวกรของทางบริษัทกลับไปไม่นาน ผมก็ได้รับมอบหมายให้เป็นวิศวกรมือหลัก ดูแลเจ้าเครื่องนี้เต็มตัว ก็ยอมรับครับว่ายังใหม่ จริง ๆ สำหรับผม แต่เครื่องไม่ใหม่แล้วครับ ถ้าจำไม่ผิดน่าจะติดตั้งเครื่องประมาณปี 2541 ล่ะครับ และที่สำคัญ Service Manual ก็ไม่มีครับ สงสัยคงต้องหาที่ปรึกษาแล้วครับ ไม่ใช่ใครที่ไหน ก็ทีมงานช่าง วิศวกร และนักวิทย์ ของเราเองครับ ไม่รู้หรือไม่แน่ใจอะไรก็ต้องถาม เผื่ออาจจะช่วยกันแชร์ประสบการณ์กันได้ครับ

 

                บ่ายวันหนึ่งมีโทรศัพท์ มาที่ห้องซ่อมบำรุงฯ ครับ ว่าเครื่อง SEM5200 เกิดอาการ Over Current ขณะที่ลูกค้ากำลังใช้งานอยู่ นั้นไง! ปัญหามาทันที เมื่อทราบปัญหาก็รีบลงไปช่วยเหลือลูกค้าโดยผมก็สันนิฐานว่าน่าจะเกิดมาจากความสกปรกของ Wehnelt Cap และ Anode ซึ่งขณะนั้นก็นึกได้แค่นี้ครับ ตามประสบการณ์อันน้อยนิด เพราะว่าก่อนหน้านี้ผมเคยทำมาแล้วก็ใช้ได้สักพักหนึ่ง และสาเหตุที่สองจากวิศวกรบริษัทแจ้งว่า รูของ Wehnelt Cap มันกว้างกว่าเดิมแล้ว แต่สิ่งที่ทำได้ตอนนั้นคือ ถอด Wehnelt Cap ออกมาทำความสะอาด ลูกค้าก็มองแบบมีความหวังนิดหน่อย การทำความสะอาดก็ใช้เวลาประมาณ 30 นาที ซึ่งอาจจะนานเกินไป แต่เมื่อไปเห็นมี Wehnelt อีกหนึ่งตัว ที่ทำความสะอาดไว้แล้วโดยนักวิทย์ ก็รีบนำมาเปลี่ยนทันที

                หลังจากการเปลี่ยน Wehnelt ก็คือต้องถอด Filament ออกมาเปลี่ยนด้วย จึงต้องมีการทำ Alignment electron gun ใหม่ เพื่อให้ Electron Beam ส่องลงมาตรงที่สุด โดย scan ในโหมด LSP1 ให้ปรับปุ่ม Brighthess ไปที่ตำแหน่ง 11 นาฬิกา และปรับปุ่ม MAGNIFICATION ไปที่ 5,000x จากนั้นปรับเพิ่มกระแสให้กับ Filament  ไปที่ตำแหน่ง 3 นาฬิกา แล้วให้ทำการปรับ Electron gun โดยจะมีสกรูอยู่ 4 ตัว ให้ปรับเป็นคู่ ทแยงมุมกัน จนกว่า Peak จะอยู่จุดที่สูงสุด  โดยใช้ปุ่ม CONTRAST ช่วยได้กรณี Peak มีสัญญาณน้อยมาก

                เมื่อปรับ Electron gun ได้แล้ว ให้ปรับโวลลุ่ม FILAMENT มาที่ตำแหน่ง 9 นาฬิกา แล้วปรับเพิ่มกระแสของ Filament จนกว่า Peak ที่ได้จะถึงจุด Saturated นั้นเอง ทั้งนี้ที่กล่าวมาในส่วนการทำ Alignment electron gun ได้ความช่วยเหลือจาก ท่าน Zenki ครับ ที่ได้ให้ความรู้เป็นอย่างดีมาโดยตลอด เนื่องจากความไม่ชำนาญของผมเอง ความเครียดมันอยู่ตอนที่ลูกค้านั่งรอความหวังนี้แหละครับ ทำเอาผมเหงื่อตกเลยครับ เพราะผมคิดว่าถ้าช่างที่มาซ่อมยังไม่ชำนาญ แล้วจะไปสร้างความหวังให้ลูกค้าได้ไงว่ามั้ยครับ ตอนนี้ก็แก้ไขโดยการฝึกหัดการ Alignment electron gun ได้แล้วครับ

                เมื่อทำการ Alignment electron gun เรียบร้อยก็ดำเนินการทดสอบถ่ายภาพ ปรากฏว่าอาการหนักกว่าเดิมครับ Over Current อีกแล้ว ภาพก็ไม่ชัดเอาการ จึงบอกลูกค้าว่ายังไงต้องใช้เวลาซ่อมแล้วครับ ลูกค้าก็เข้าใจ ซึ่งพรุ่งนี้ลูกค้าคนนี้ก็มีจองใช้เครื่อง เขาจึงทำการยกเลิกการจองไปก่อน หลังจากซ่อมเสร็จทางเราจะโทรไปแจ้งให้ลูกค้าทราบครับ ซึ่งจะต้องระงับใช้เครื่องมือครับ

                จากนั้นก็ทำการถอด Wehnelt cap ออกมาเทียบกันระหว่างตัวเก่าที่ถอดออกมากับตัวใหม่ที่นักวิทย์ทำความสะอาดไว้แล้ว ปรากฏว่ารูของตัวเก่ายังเล็กกว่าอีกครับ จึงใช้ตัวเก่านำมาทำความสะอาดกับครีมขัดโลหะแล้วเช็ดด้วย Acetoneจากนั้นนำไปแช่ใน Acetone แล้วนำเข้าเครื่อง Ultrasonic เป็นเวลา 15 นาที

                เมื่อทำความสะอาด Wehnelt cap เสร็จเรียบร้อย ใส่กลับเข้าไป ทดสอบจ่ายกระแสให้กับ Filament ก็พบว่ากระแสลดลง แต่ก็ยังเกิดปัญหา Over current อยู่ดี สงสัยต้องคิดหาสาเหตุใหม่เสียแล้วครับ คงต้องกลับไปนอนคิดเป็นการบ้าน

               

                                                                                ...HS9OCB...

 

หมวดหมู่บันทึก: พัฒนางานประจำ
สัญญาอนุญาต: ซีซี: แสดงที่มา-ไม่ใช้เพื่อการค้า-อนุญาตแบบเดียวกัน Cc-by-nc-sa
สร้าง: 15 ตุลาคม 2555 16:12 แก้ไข: 22 ตุลาคม 2555 11:33 [ แจ้งไม่เหมาะสม ]
ดอกไม้
สมาชิกที่ให้กำลังใจ: Ico24 ServiceMan, Ico24 Zenki, และ 7 คนอื่น.
สมาชิกที่ให้กำลังใจ
 
Facebook
Twitter
Google

บันทึกอื่นๆ

ความเห็น

เราเหมือนถูกหลอก ว่าเครื่องมันใช้ได้

สู้ต่อไป เราจะอยู่เป็นเพื่อนอยู่ข้างๆ

ไม่เชื่อเห็นแอบหนีกลับบ้าน

ร่วมแสดงความเห็นในหน้านี้

ชื่อ:
อีเมล:
IP แอดเดรส: 3.238.107.166
ข้อความ:  
เรียกเครื่องมือจัดการข้อความ
   
ยกเลิก หรือ